有效寬度: 650 mm, 1600 mm and 2000 mm.
最多可配置六支可旋轉陰極
最多可配置六支可旋轉陰極,並可搭配 DC、DC 單極脈衝、DC 雙極脈衝或 **MF(中頻)**電源供應器,讓您的反應式或非反應式製程具備高度彈性與多樣性。 超過 6 支陰極亦可接受/亦可配置
智慧系統提升產品品質
採用可將顆粒生成降至最低的設計(陰極採上濺式配置)、選配等離子體前處理、溫度可控的鍍膜滾筒(標準範圍:-15 至 +80 °C)、渦輪分子幫浦搭配冷阱,以及多種原位(in-situ)膜層量測系統協同運作,確保穩定輸出高品質鍍膜
堅固耐用的設計
Leybold Optics FLC 以兼具智慧與堅固的工程設計,滿足您 24/7 不間斷量產的需求。關鍵組件皆可輕鬆取得,確保維護週期快速、清潔更方便,從而持續維持穩定且優異的最終產品品質。
適用於多種基材
Leybold Optics FLC 只需做少量調整,即可應用於多種基材類型,包括 PET、PEN、PI、鋁(Al)、不鏽鋼帶材(SST)、銅以及柔性玻璃。可處理的基材捲徑最高可達 500 mm,鍍膜寬度最高可達 650 mm。常見沉積材料包含金屬(Ag、Al、Cu、Cr、NiCr、Ti)以及介電材料(AZO、ITO、SiO₂、SiN、SnO₂、Nb₂O₅、TiO₂)。
高一致性的產品表現與完美的膜層附著力
我們採用陰極技術的高效電漿前處理,可進行清潔、蝕刻去除(ablation)、交聯(cross-linking)與表面改質,藉由最佳化製程條件,打造出優異的膜層附著力與高品質鍍膜。
現代科技的關鍵推手
Leybold Optics FLC 是智慧科技的重要關鍵設備。其應用包括:用於智慧型手機、平板電腦與 PC 螢幕的 ITO 鍍膜、具整合式低放射率(Low-E)薄膜的汽車玻璃、用於建築領域的電致變色薄膜,以及可顯著提升鋰離子電池性能的鍍膜





